真空泵除主要的特性，极限压力，流量和抽气速率以外，还有一部分专用名词表述泵的相关性能和参数。

1、启动压力。泵无受损运行并有抽气作用时的压力。

2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。

3、最大工作压力。相应最大流量的入口压力。在这个压力下，泵能持续作业而不恶化或受损。

4、最大前级压力。超出它能使泵受损的前级压力。

5、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际上抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。

6、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

7、返流率。泵在规定情况下作业时，与抽气方向相对而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率。

8、抽气系数。泵的实际上抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比。

9、水蒸气允许量(单位:kg/h)在正常的环境情况下，气镇泵在持续作业时能抽除的水蒸气的质量流率。

10、最大允许水蒸气入口压力。在正常的环境情况下，气镇泵在持续作业时所能抽除的水蒸气的最高入口压力。